Белюх, В. Застосування комбінованої оптичної методики для дослідження тонких плівок нітриду кремнію на поверхні монокристалічного кремнію / В. Белюх, Б. Павлик // . – 2020. – Вип.13. – С. 137-149.
Parse error: syntax error, unexpected T_STRING in C:\inetpub\wwwroot\opac\app\views\elements\liens.ctp on line 6