Статья

Плівки SiCN: Отримання, властивості та практичне застосування (Огляд) / А. В. Сукач, В. В. Тетьоркін, В. І. Іващенко // Оптоелектроніка та напівпровідникова техніка. – 2020. – Вип.55. – С. 83-108.