Книга
93 16331

Комаров, Фадей Фадеевич.
Дефекты структуры в ионноимплантированном кремнии / Ф. Ф. Комаров, А. П. Новиков [и др.]. – Минск : Университетское, 1990. – 319 с. : рис.
Библиогр. С. 305-318
ISBN 5-7855-0192-9.



1288163 ОФ
1259095 ОФ