Автореферат
РЕФ 115982

Оберемок, Олександр Степанович.
Дослідження механізмів дифузії імплантованих домішок в шаруватих структурах на основі кремнію в умовах нерівноважної концентрації точкових дефектів : Автореф. дис ... канд. фіз.-мат. наук / О. С. Оберемок. – Киев : [б. в.], 2005. – 17 с.

ББК В3


Предметні рубрики = МАТЕМАТИКА. ПРИРОДНИЧІ НАУКИ : Фізика : автореферати - фізика

1475120 ОФ