Книга
22.333 Д182

Данилин, Борис Степанович.
Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок / Б. С. Данилин. – М. : Энергоатомиздат, 1989. – 327 с.

ББК В333.4
ББК з844-022.5
ББК В333

Предметні рубрики = Физика : электричество и магнетизм : физика плазмы, электронные и ионные явления
Предметні рубрики = Энергетика, радиоэлектроника : радиоэлектроника : общая радиотехника : радиоаппаратура (радиоэлектронная аппаратура) : проектирование радиоэлектронной аппаратуры : миниатюризация, микроэлектроника : интегральные схемы

1303206 Ф 1 - 4 комн.