Книга
97-а 7463

Киреев, Валерий Юрьевич.
Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур / В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин, В. И. Кузнецов. – М. : Радио и связь, 1983. – 125 с. : рис., табл. – (Массовая б-ка инженера; 36. Электроника)
Библиогр.: с. 121-125 (92 назв.).



1103033 ОФ