Многотомник

Моро, Уэйн.
Микролитография: принципы, методы, материалы : в 2-х т. / У. Моро; предисл.: К. А. Валиев. – М. : Мир, 1990.
Книга
97-а 8902

Ч. 1 : / пер. с англ. под ред.: Р. Х. Тимеров. – 1990. – 606 с. : рис., табл.
Библиогр. в конце глав.



1260414 ОФ