Книга
621.3

Корзо, Виктор Федорович.
Диэлектрические пленки в микроэлектронике / В. Ф. Корзо, В. Н. Черняев. – М. : Энергия, 1977. – 367 с.



0728203 Ф 1 - 10 комн.