Автореферат
РЕФ 161049

Ніконов, Андрій Юрійович.
Технологія одержання кремнієвих приладових структур підвищеної якості з використанням високоенергетичних джерел випромінювання і відновлювальних термообробок : автореф. дис ... канд. техн. наук / А. Ю. Ніконов. – Кременчук, 2014. – 20 с.

ББК К

Предметні рубрики = Технология металлов, машиностроение, приборостроение

1631145 ОФ