Статья

Effect of substrate temperature on structural, optical and electrical properties of al-doped zinc oxide thin films deposited by layer-by-layer method at magnetron sputtering / M. V. Dranchuk, A. I. Ievtushenko, V. A. Karpyna // Сенсорна електроніка і мікросистемні технології . – 2015. – Т.12, № 1. – Р. 5-12.