Книга
149 4328

Мягков, Алексей Тихонович.
Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники / А. Т. Мягков, Е. М. Корсетов. – М. : Энергия, 1979. – 312 с. : ил., табл.
Библиогр.: с. 305-310 (122 назв.).



1028123 ОФ