Книга
149 4225

Технология и аппаратура газовой эпитаксии кремния и германия / И. М. Скворцов [и др.]. – М. : Энергия, 1978. – 135 с. : ил., табл.
Библиогр.: с. 129-134 (113 назв.).



1013611 ОФ