Книга (аналит. описание)

Семенов, К. І.
Спосіб контролю товщини тонких плівок в процесі напилення у вакуумі. / К. І. Семенов, М. С. Хлебникова // Дисперсные системы : материалы XXVI междунар. науч. конф., 22-26 сентября 2014 г. / отв. ред.: Н. Х. Копыт; Одесский нац. университет им. И.И. Мечникова [та ін.]. – Одесса, 2014. – С. 168-169.