Книга
115 7822

Методи нанолітографії / В. В. Петров , А. А. Крючин, Ю. А. Куницький; відп. ред.: О. Г. Додонов; НАН України, Ін-т проблем реєстрації інформації. – Київ : Наукова думка, 2015. – 262 с. : рис., табл. – (Проект "Наукова книга")
Рез.: укр., англ. – Бібліогр.: с. 238-258 (326 назв)
ISBN 978-966-00-1467-1.

ББК Ж620
ББК з973-061/69

Предметні рубрики = Техника и технические науки в целом : общая технология, основы промышленного производства : отдельные технологические процессы : нанотехнологии : нанотехнологии
Предметні рубрики = Энергетика, радиоэлектроника : радиоэлектроника : информационная и вычислительная техника : компьютеры и программирование : технологии производства компьютерной техники : технология производства отдельных деталей и узлов

1645640 ОФ