Автореферат
РЕФ 166467

Журавльов, Олександр Юрійович.
Осадження гетероепітаксійних Si1-x-Gex структур газофазним, плазмохімічним і сублімаційним методами : автореф. дис ... канд. техн. наук / О. Ю. Журавльов. – Харків, 2015. – 20 с.

ББК К

Предметні рубрики = Технология металлов, машиностроение, приборостроение

1641065 ОФ