Книга
149 3651

Дорфман, Вениамин Фриделевич.
Газофазная микрометаллургия полупроводников / В. Ф. Дорфман. – М. : Металлургия, 1974 . – 190 с. : рис., табл.
Библиогр.: с. 179-189 (300 назв.).



938163 ОФ