Автореферат
РЕФ 169218

Палагін, Віктор Андрійович.
Методологічні основи проектування технологій виробництва компонентів мікроелектромеханічних систем : автореф. дис ... д-ра техн. наук / В. А. Палагін. – Харків, 2016. – 43 с.

ББК з8/9

Предметні рубрики = Энергетика, радиоэлектроника

1651916 ОФ