Фотолітографія на реверсивних та перехідних фотостимульованих структурних перетвореннях у ХСН (огляд) / В. А. Данько [та ін.] // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. – 2015. – Вып.50. – С. 44-57.
Parse error: syntax error, unexpected T_STRING in C:\inetpub\wwwroot\opac\app\views\elements\liens.ctp on line 6