Статья

Формування субмікронних періодичних плазмонних структур великої площі методом інтерференційної літографії з використанням вакуумних фоторезистів / В. А. Данько [та ін.] // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. – 2015. – Вып.50. – С. 109-116.