Книга
95 2713

Одарич, Володимир Андрійович.
Прикладна фотометрична еліпсометрія / В. А. Одарич. – Київ : Пульсари, 2017. – 414 с. : рис., табл.
Бібліогр. в кінці розд.
ISBN 978-617-615-072-5.

У книзі розглянуто основні питання відбивальної еліпсометрії, зокрема зв’язок характеристик відбивальної системи із поляризаційними параметрами відбитої від системи електромагнітної хвилі для різних моделей відбивальної системи — одношарової, двошарової та анізотропних середовищ. Розглянуто основи методу фотометричної елгпсометрії, алгоритми розрахунку параметрів системи за виміряними значеннями еліпсометричних параметрів, наведено тексти автоматизованих програм обробки еліпсометричних даних, а також викладено основи еліпсометричних методів контролю оптичних деталей, підданих різним способам обробки поверхні. Наведено результати еліпсометричних досліджень діелектричних покриттів, йонно імплантованих напівпровідників, процесів взаємодії атмосферного повітря із поверхнею тощо. Призначено для наукових працівників та інженерів, які використовують еліпсометричні прилади у своїх дослідженнях, викладачів і студентів вищих навчальних закладів.



Предметні рубрики = МАТЕМАТИКА. ПРИРОДНИЧІ НАУКИ : Фізика : основні принципи вимірювання, теорія вимірювання, розробка вимірювальних приладів, методи вимірювання : методи вимірювання, конструкція вимірювальних приладів : використання оптичних явищ в фізиці : еліпсометрія
2018 пут 176 80 81
Предметні рубрики = МАТЕМАТИКА. ПРИРОДНИЧІ НАУКИ : Фізика : оптика : поляризація, подвійне заломлення, дисперсія в анізотропних середовищах : оптичні поверхні, оптичні вісі

1665747 ОФ
1677427 ОФ