Статья

Семикина, Т. В.
Диодные структуры и электрические свойства пленок ZnO, полученных методом атомного послойного осаждения / Т. В. Семикина // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. – 2016. – Вып.51. – С. 150-157. : рис.