Книга (аналит. описание)

Михаленко, Владислав.
Метод выявления и классификации дефектов микролитографии / В. Михаленко, В. Г. Пенко // III Міжнародна конференція "Комп’ютерна алгебра та інформаційні технології", (CAIT-Odessa-2018), 20-25 серпня, Одеса, Україна = 3d International Conference on Computer algebra and information technologies, August 20 – 25, 2018, Odessa, Ukraine : праці / ОНУ ім. І. І. Мечникова. – Одеса : М. О. Бондаренко, 2018. – С. 109-112. : рис.