Статья

Пономарьов, О.
Устаткування протонно-проеменевої літографії на базі електростатичного прискорювача для фабрикації 3D мікро- і наноструктур / О. Пономарьов, В. А. Ребров, С. В. Колінько // Science and innovation. – 2019. – Vol.15, № 4. – С.55-61.