Книга
93 17823

Shaginyan, Leonid Robertovich.
The mechanisms of formation of thin films and coatings deposited by physical vapor deposition technology / L. R. Shaginyan; National acad. of sciences of Ukraine, I.N. Franzevich inst. for problems of materials science. – Kyiv : Akademperiodyka, 2017. – 173 p. : fig., tab. – (Project "Ukrainian scientific book in a foreign language")
Тит. арк. парал.: англ., укр. – Бібліогр. в кінці гл.
ISBN 978-966-360-326-1.

У фокусі книги — загальні механізми та базові фізичні фактори, які впливають на формування складу і структури плівок, отриманих різноманітними методами фізичного осадження — іонним та іонно-реакційним осадженням, різними модифікаціями магнетронного розпилення та лазерним випаровуванням. На основі різноманітних досліджень широкого спектра плівкових матеріалів і покриттів (метали, напівпровідники, діелектрики) автор показує, що форма плівкоутворювальних частинок (атоми, атомні кластери, молекули), їхня енергія та енергія частинок, що бомбардують поверхню конденсації у процесі росту покриття, є універсальними факторами, які визначають склад та структуру плівки. Ці фактори визначені методом отримання плівки та залежать від фізико-технологічних параметрів процесу осадження. На багатьох прикладах автор демонструє: якщо потік плівкоутворювальних частинок — це суміш атомів та молекул та/або поверхня росту плівки підлягає неконтрольованому бомбардуванню енергетичних частинок, тоді отримання плівки з високоякісною кристалічною мікроструктурою і потрібним хімічним складом є проблематичним, а сам процес осадження слабко контрольованим. Повну керованість процесу осадження плівки можна забезпечити у випадку гомогенності потоку плівкоутворювальних частинок одночасно з керуванням енергією частинок, шо разом із плівкоутворювальними надходять на поверхню росту плівки. Матеріали, представлені у книзі, можуть бути корисними для технологів та вчених, тих, хто цікавиться проблемами технології та фізики плівок і покриттів. За допомогою викладеної інформації технологи зможуть зробити правильний вибір методу отримання плівок із потрібними властивостями, а вчені зможуть передбачити властивості плівок залежно від методу їх отримання і вказати шляхи керування їхніми властивостями.



Предметні рубрики = виртуальный просмотр
Предметні рубрики = пут 101 128
Предметні рубрики = МАТЕМАТИКА. ПРИРОДНИЧІ НАУКИ : Фізика : фізична природа матерії : властивості та структура молекулярних систем : властивості молекулярних систем : ніздрювата структура, волокниста структура, пластинчата структура, плівки, тонкі плівки, променеві структури
Предметні рубрики = ПРИКЛАДНІ НАУКИ. МЕДИЦИНА. ТЕХНІКА : Машинобудування. Техніка в цілому : загальне машинобудування, ядерна техніка, електротехніка : технологія механічної обробки в цілому : з'єднання матеріалів, обробка поверхні, остаточна обробка поверхні, складування та зберігання, пакування та пакувальні машини : обробка поверхні : нанесення металевого та неметалевого покриття, нанесення провідникового, напівпровідникового, діелектричного, магнітного покриття та плівое, плівок з електричним опором, покриття з електричним опором; металізація : нанесення покриття та осадження плівок шляхом вакуумного випаровування і конденсації

1660771 ОФ